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      隨著現(xiàn)代集成半導(dǎo)體器件、微電子等高科技企業(yè)的發(fā)展，半導(dǎo)體制造工序及技術(shù)的提升，以及產(chǎn)品制程線寬的縮小，尤其在其線寬進(jìn)入45 nm 以下時(shí)，空氣中的氣態(tài)分子污染物（以下簡(jiǎn)稱AMC）對(duì)高端半導(dǎo)體產(chǎn)品的品質(zhì)影響日益顯現(xiàn)，常會(huì)引起產(chǎn)品的成品率下降、性能退化及失效，越來(lái)越多的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商意識(shí)到半導(dǎo)體AMC過(guò)濾材料的重要性。

國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)在SEMI F21-95、F21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體業(yè)的潔凈環(huán)境，指定了4個(gè)“標(biāo)準(zhǔn)范圍”：酸(MA)，堿(MB)，冷凝物(MC)及雜質(zhì)(MD)。具體如下：

      電子行業(yè)中AMC 主要危害是引起人類各種疾病和造成產(chǎn)品良品率降低。一方面工作人員長(zhǎng)期接觸導(dǎo)致各種疾病健康問(wèn)題；另一方面在是產(chǎn)品良品率下降，導(dǎo)致質(zhì)量問(wèn)題，如有金屬薄膜腐蝕、光學(xué)器件霧化、表面濕潤(rùn)性變化、光刻膠的T型缺陷、薄膜粘附問(wèn)題和不均勻氧化物的生長(zhǎng)等，使晶圓表面出現(xiàn)生成薄膜或造成腐蝕等問(wèn)題，從而造成晶圓的電氣、光學(xué)、化學(xué)或物理特性改變而導(dǎo)致質(zhì)量缺陷。圖 1展示了幾種晶圓生產(chǎn)過(guò)程中常見的污染的電鏡圖片。

對(duì)于化學(xué)過(guò)濾材料的質(zhì)量評(píng)價(jià)可以依據(jù)C3E2標(biāo)準(zhǔn)，即吸附容量，適用性，潔凈度，過(guò)濾效率，壓損能耗五個(gè)指標(biāo)。

1、吸附容量(Capacity)

吸附容量是反應(yīng)化學(xué)過(guò)濾材料壽命的重要指標(biāo)，指化學(xué)過(guò)濾材料的吸附能力在到達(dá)某個(gè)額定的過(guò)濾效率時(shí)，吸附污染物的總質(zhì)量。吸附劑的質(zhì)量越多，能吸附的污染物質(zhì)量越大，吸附劑的吸附性能優(yōu)越，能吸附的污染物質(zhì)量越大。吸附容量的大小與濾芯面積及吸附劑本身的性能都有關(guān)系。

2、適用性(Compatibility)

要求化學(xué)過(guò)濾材料的功能性吸附材料一定要與需要去除的目標(biāo)污染物匹配，才能起到充分的凈化效果。

3、潔凈度(Cleanliness)

雖然化學(xué)過(guò)濾材料不是主要去除顆粒物的裝置，但也要求其本身盡量不產(chǎn)生額外的顆粒物污染物，或者產(chǎn)生的顆粒物必須可以控制在一定合理范圍內(nèi)。

4、過(guò)濾效率(Efficiency)

過(guò)濾效率是過(guò)濾材料的重要技術(shù)指標(biāo)，其計(jì)算方式如公式1-1所示。過(guò)濾效率高則意味著有害氣體被去除的更干凈，隨著時(shí)間的延長(zhǎng)，吸附劑被慢慢消耗后，而逐漸下降。由下方公式可知，過(guò)濾效率下降后，下游濃度會(huì)不斷升高，直至化學(xué)過(guò)濾材料報(bào)廢。

5、壓損(Resistance)

壓損是過(guò)濾材料重要運(yùn)行指標(biāo)，壓損高則電力消耗大，運(yùn)行費(fèi)用高。在保證吸附效率的前提下，壓損越低越好。

全方位解決空氣質(zhì)量問(wèn)題，保障健康與生產(chǎn)效率

富瑞邦生產(chǎn)的化學(xué)過(guò)濾材料包含除酸、除堿、除VOCs、除正丁烷、除醛等多種氣態(tài)污染物控制功能，解決了單一顆粒污染物控制不能滿足實(shí)際需求的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)粉塵過(guò)濾和氣態(tài)污染物過(guò)濾的雙重高效過(guò)濾；精準(zhǔn)的氣態(tài)污染物控制，可通過(guò)不同化學(xué)濾料高效去除不同應(yīng)用環(huán)境下的目標(biāo)氣態(tài)污染物；高的氣態(tài)污染物容污量，長(zhǎng)使用壽命；較低阻力，無(wú)遞增壓損，節(jié)能環(huán)保。在芯片 /半導(dǎo)體/光伏電子潔凈室；化學(xué)實(shí)驗(yàn)室、 化工車間、汽車裝涂；生物制藥 /化妝品制造/醫(yī)療超凈室等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，切實(shí)保障生活健康、生產(chǎn)穩(wěn)定運(yùn)行，提升半導(dǎo)體微電子行業(yè)良品率、降低成本。